ফ্যাব ফ্লোরে, মাত্র কয়েক ডিগ্রি তাপমাত্রার পার্থক্যই একটি স্থিতিশীল রানকে বিচ্যুতিতে পরিণত করতে পারে। লিথোগ্রাফি এবং ফটোরেজিস্ট প্রক্রিয়াকরণে, বেক ধাপ শুধুমাত্র ওয়ার্ম-আপ নয়। এটি সেই তাপীয় বাজেট যা লাইনউইথ নিয়ন্ত্রণ, সাইডওয়াল প্রোফাইল এবং ত্রুটি মাত্রা নির্ধারণ করে। যখন ড্রায়ার স্লিপ করে, তখন ওয়াফারে সফট-বেকের অনিয়ম দেখা যায়, প্যাটার্নের ফুটিং হয় এবং সলভেন্ট ক্যারিওভার হয় যা কণিকা সৃষ্টি করে। এর ফলাফল হয় স্ক্র্যাপ, পুনঃকাজ এবং অপ্রত্যাশিত টুল ডাউনটাইম।
আমরা সেমিকন্ডাক্টর ফ্যাবের জন্য ব্যাটারি সেপারেটর ফিল্ম ড্রায়ার তৈরি করেছি কারণ সেপারেটর ফিল্মকে ওয়াফার পাথের কাছে আসার আগেই সম্পূর্ণ শুকনো থাকতে হবে। ফিল্মে থাকা যেকোনো অবশিষ্ট আর্দ্রতা বা তাপীয় বিচ্যুতি সরাসরি আপনার ফটোরেজিস্ট বেকের পুনরাবৃত্তিতে প্রভাব ফেলে। এই ইউনিটটি তাপমাত্রা স্থিতিশীল রাখার জন্য নির্মিত, কণিকা যুক্ত না করে পরিষ্কার তাপ সরবরাহ করে এবং ধাপের পর ধাপ চলতে পারে কোনো বিচ্যুতি ছাড়াই।
হুডের নিচে যা গুরুত্বপূর্ণ
ড্রায়ারের হৃদয় হল একটি নিয়ন্ত্রিত-স্পেকট্রাম ইনফ্রারেড এমিটার অ্যারে, যা সেপারেটর ফিল্ম এবং ফটোরেজিস্ট স্ট্যাকের অবসার্পশন প্রোফাইলের সাথে মিলিয়ে তৈরি। আমরা আউটপুট এমনভাবে টিউন করি যাতে শক্তি সলভেন্ট অপসারণ চালিত করে, পৃষ্ঠদেশে হট-স্পট তৈরি না করে বা ক্লিনরুমে বর্জ্য তাপ প্রবাহিত না করে। এর ফলাফল হল পূর্বানুমানযোগ্য তাপ সরবরাহ, বেক প্লেট জুড়ে ±0.1°C ওয়াফার-স্তরের সমতা, যা ইন সিচু ক্যালিব্রেটেড সেন্সর দ্বারা মাপা হয়।
তাপমাত্রা শুধুমাত্র তখনই কার্যকর যখন তা পুনরাবৃত্তিযোগ্য হয়। সিস্টেম steady-state অবস্থায় সেটপয়েন্ট স্থিতিশীলতা ±0.2°C এর মধ্যে ধরে রাখে এবং ব্যাচ লোড করার 3 সেকেন্ডের মধ্যে পুনরুদ্ধার করে। এটি গুরুত্বপূর্ণ যখন আপনার সফট বেক উইন্ডো সংকীর্ণ এবং হার্ড বেক মার্জিন একক অঙ্কে পরিমাপ করা হয়। আমরা এমিটার অ্যারেকে কম-তাপীয় ভরের, উচ্চ-শুদ্ধতার কুয়ার্টজ-কোটেড থার্মাল মডিউলের সাথে জোড়া দিয়ে ওভারশুট কমাই এবং হট স্পট নির্মূল করি।
পরিষ্কার-পরিচ্ছন্নতা একটি স্লোগান নয় — এটি একটি স্পেসিফিকেশন। ড্রায়ার ক্লিনরুম ক্লাস 1–100 এর সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ এবং গরম অঞ্চলে HEPA-গ্রেড রিসারকুলেশন ফিল্ট্রেশন ও পজিটিভ প্রেসার কন্টেইনমেন্ট আছে। স্বাভাবিক অপারেশনে কণিকা উৎপত্তি 0.1 particles/cm³ এর নিচে থাকে, 0.1 μm আকারে। শুকানোর সময় সৃষ্ট দূষণ তেমনই ক্ষতিকর যেমন কোটিংয়ের সময় সৃষ্ট দূষণ।
নির্ভরযোগ্যতা তাপীয় ট্রেনে ইঞ্জিনিয়ার করা হয়েছে। এমিটার লাইফ 5,000+ ঘন্টার জন্য রেট করা হয়েছে এবং আউটপুট ড্রপ 5% এর কম থাকে, এবং নিয়ন্ত্রণ লুপে পুনরাবৃত্তিমূলক পরিমাপ পাথ ব্যবহৃত হয় যাতে একটি সেন্সর বিকল হলে পুরো প্রক্রিয়া বন্ধ না হয়। ২৪/৭ ফ্যাবে এর মানে হচ্ছে কম মেইনটেন্যান্স উইন্ডো এবং প্রক্রিয়া লগে কম অপ্রত্যাশিত ঘটনা।
কেন এটি কার্যকর যেখানে প্রয়োজন
ব্যাটারি সেপারেটর ফিল্ম ড্রায়ার ফ্যাবে, ফিল্ম নিয়ন্ত্রিত উপাদান হিসেবে আসে এবং প্রক্রিয়া-সজ্জিত সাবস্ট্রেট হিসেবে যায়। যদি এটি সমানভাবে শুকনো না হয়, তাহলে আপনি ফটোরেজিস্ট সফট বেকে সলভেন্ট বহন করেন। রেজিস্ট পুরো ওয়াফারে একইভাবে সেট হয় না এবং সিডি সমতা ক্ষতিগ্রস্ত হয়। হার্ড বেক হয় একটা অনুমানভিত্তিক প্রক্রিয়া, যেখানে ফুটিং এবং স্কাম থাকে যা ইতিমধ্যে ফিল্মে বেক হয়ে গেছে।
এই ড্রায়ার অনিশ্চয়তা দূর করে। আপনি একবার বেক প্রোফাইল সেট করেন এবং সিস্টেম ধারাবাহিকভাবে সেটি সম্পাদন করে, ব্যাচের পর ব্যাচ। থার্মাল মডিউল সেমিকন্ডাক্টর ফটোরেজিস্ট বেক প্রোফাইলের জন্য ডিজাইন করা হয়েছে: এটি সফট বেক (সাধারণত 90–120°C) এবং হার্ড বেক (সাধারণত 100–150°C) এর জন্য প্রয়োজনীয় তাপমাত্রা প্রোফাইল ধরে রাখে, ট্রান্সিয়েন্ট অনুসরণ না করেই। ফিল্ম যদি কোট ট্র্যাকে আসার আগে সম্পূর্ণ শুকনো থাকে, তাহলে সলভেন্ট ফ্ল্যাশ কমে যায় এবং রেজিস্ট একটি স্থিতিশীল তাপীয় সীমানা অবস্থার সম্মুখীন হয়।
এই স্থিতিশীলতা প্রক্রিয়ার সক্ষমতা উন্নত করে। আপনি ক্রিটিক্যাল ডাইমেনশনে সংকীর্ণ বন্টন পান, ফুটিং এবং স্কামের কারণে ত্রুটির সংখ্যা কমে যায় এবং ফলন পূর্বানুমানযোগ্য হয়। এটি অপারেশন টাইমও বাড়ায়। ড্রায়ার অপ্রত্যাশিত স্টপ ছাড়াই চলে এবং যখন সার্ভিসে যায়, মডুলার গরম অঞ্চল দ্রুত পরিবর্তন করা যায় কম ক্লিনরুম হস্তক্ষেপে।
শক্তি ব্যবহার ডিজাইনের অংশ, পরে ভাবা নয়। ইনফ্রারেড সরাসরি ফিল্ম গরম করে, বাতাস গরম করে পৃষ্ঠে ঠেলে দেওয়ার পরিবর্তে। ব্যবহারিক দিক থেকে, এটি প্রতি ব্যাচ শক্তি ব্যবহারে convection-ভিত্তিক পদ্ধতির তুলনায় ২৫% পর্যন্ত কমায় এবং ক্লিনরুমের HVAC লোড কমিয়ে দেয়। আপনি বিদ্যুৎ সাশ্রয় করেন এবং তাপীয় লোড কমান যা পার্শ্ববর্তী লিথোগ্রাফি টুলগুলোকে বিঘ্নিত করতে পারে।
আগেই যা জানা দরকার
এটি প্লাগ-এন্ড-প্লে বক্স নয়। এটি একটি প্রক্রিয়া যন্ত্র যা ফ্যাবের তাপীয় ও দূষণ নিয়ন্ত্রণ কৌশলের সাথে মানানসই হতে হবে। ইনস্টলেশনের জন্য এমিটার অ্যারের পিক লোড অনুসারে একটি নির্দিষ্ট বৈদ্যুতিক ফিড দরকার, সাথে ফিল্ম শুকানোর সময় নির্গত ভোলাটাইলস পরিচালনার জন্য ক্লিনরুম-অনুমোদিত এক্সহস্ট পথ। টুলের চারপাশে ক্লিয়ারেন্স একটি স্ট্যান্ডার্ড বেঞ্চটপ হিটারের চেয়ে সংকীর্ণ — গরম অঞ্চল সীল করা হয়েছে এবং সার্ভিস অ্যাক্সেস টুল পুল করার জন্য পরিকল্পিত।
এমিটার অ্যারে সেপারেটর ফিল্ম এবং ফটোরেজিস্টের অবসার্পশন প্রোফাইলের জন্য টিউন করা হয়েছে। যদি আপনি ফিল্মের কেমিস্ট্রি পরিবর্তন করেন — বিশেষ করে যেগুলোর সলভেন্ট সিস্টেম বা অ্যাডিটিভ স্তর ভিন্ন — তাহলে আপনাকে স্পেকট্রাল আউটপুট পুনরায় টিউন করতে হতে পারে এবং বেক সময় সামঞ্জস্য করতে হতে পারে যাতে ওভারবেক না হয় এবং থ্রুপুট বজায় থাকে। যখন আপনি ফিল্ম সাপ্লায়ার পরিবর্তন করবেন, তখন একটি সংক্ষিপ্ত কোয়ালিফিকেশন রান পরিকল্পনা করুন এবং নতুন প্রোফাইল আপনার সিডি ও ত্রুটি বেসলাইনের বিরুদ্ধে ডকুমেন্ট করুন।
এবং ক্যালিব্রেশন শৃঙ্খলা গুরুত্বপূর্ণ। ±0.1°C সমতা স্পেসিফিকেশন শুধুমাত্র তখনই বজায় থাকে যখন বেক প্লেট এবং সেন্সরগুলি ক্যালিব্রেশন টলারেন্সের মধ্যে থাকে। আমরা স্বাভাবিক শিফট অপারেশনে প্রতি ৯০ দিনে একটি ট্রেসেবল ক্যালিব্রেশন নির্ধারণ করি; ২৪/৭ চলমান উচ্চ-ভলিউম ফ্যাবে এটি ৬০ দিনে সংক্ষিপ্ত করা হয়। ড্রায়ারকে একটি মেট্রোলজি যন্ত্রের মতো বিবেচনা করুন, এটি সেই অনুযায়ী কার্যকর হবে।
সেমিকন্ডাক্টর ফ্যাবে, ড্রায়ার একটি আনুষঙ্গিক নয়। এটি লিথোগ্রাফি স্ট্যাকের অংশ, ত্রুটি বাজেটে প্রভাব ফেলে এবং ফলন বক্ররেখার আকার নির্ধারণ করে। আমরা যে ব্যাটারি সেপারেটর ফিল্ম ড্রায়ার তৈরি করেছি তা তাপীয় রেখাকে স্থিতিশীল রাখে যাতে আপনার ফটোরেজিস্ট প্রক্রিয়াগুলো ধারাবাহিকভাবে তাদের কাজ করতে পারে, প্রতিটি শিফটে।